乾式處理系統MOJAVE

Mojave Dry Scrubber

Mojave系統反應槽中的吸附劑可依製程定制,經過化學吸附反應後排出的氣體低於TLV標準。吸附反應發生時,反應氣體被吸附在吸附劑的孔隙內並與之發生化學反應,反應完成後,目標氣體將轉化為固體。
處理能力:300LPM

處理過程簡單、安全、被動且高效

Mojave乾式處理裝置用於分解各種半導體製程所排出的有毒及腐蝕性氣體副產物。為使用者提供了一種最佳的「PoU」(point of use)處理方案。

超強多功能平台
聯益電器開關製品公司所有技術成就均為內部研發。因此我們可依您的製程訂製相應的吸附劑,使系統表現更為優異。此外我們可為Mojave制定幾乎所有有害氣體的處理方案。

卓絕的處理效率
保證處理效果 — 系統配置了一個可對反應罐持續採樣的集成毒氣顯示器(TGM),當反應罐內吸附劑消耗達到90%時,系統會發生相應的警報信號;最佳處理方案 — Mojave為用戶提供了一個同類產品無法比擬的已知最佳處理方案(best known method);以上特徵使Mojave成為最高效的POU處理系統。